干式真空泵的应用非常广泛，主要有以下几个方面，下面小编带你了解一下干式真空泵的应用范围和场景：
1）多晶硅制备过程中的低压化学气相沉积;
2）半导体蚀刻工艺。 在这些制造过程中经常使用或产生腐蚀性气体和磨粒;
3）除半导体工艺外，部分工艺过程产生的颗粒，不希望颗粒与泵油混合，希望颗粒从泵内排出，用一定类型的干式机械真空泵达到要求;
4）在化学工业，医药工业，食品工业的蒸馏，干燥，消泡，包装，防止有机溶剂引起的污染，适合与干式真空泵配套使用;
5）用作普通无油清洗真空系统的前级泵，防止油污染。