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罗茨水喷射真空机组是由罗茨泵(机械增压泵)为主泵和中间泵(过流部件采用独特的喷涂防腐技术,达到很高的防腐效果)、水喷射泵为前级泵组成。使用全塑卧式水喷射真空机组作为前级泵,可抽腐蚀性气体,一级罗茨水喷射真空机组极限真空度达到150Pa,二级罗茨水喷射真空机组极限真空可达到25Pa,三级罗茨水喷射真空机组极限真空度可达到5Pa以内。